ABBFI830F

ABB FI830F
ABB FI830F
ABB FI830F
硅片传输机器人(wafer-handling robot)是半导体集成电路(IC)制造业中重要的传输、定位设备，其工作的速度、定位精度和可靠性直接影响到硅片的生产效率和制造质量。硅片传输机器人在有限的空间中实现硅片工位的快速转换，这对硅片传输机器人的运动特性、反应灵敏性、动作准确性、以及工作稳定性和可靠性等方面，都有较高的要求。因此在设计硅片传输机器人控制器过程中，需要充分考虑以上工作特性。
深圳市远创机械科技有限公司
区域经理：李女士
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可编程多轴控制器(Programmable Multi Axis Controller，简称 PMAC)为一种广泛应用在工业控制领域的自动化控制设备，它可配置在普通的PC平台下，提供开放式模块化结构的伺服运动控制系统，同时为计算机作伺服控制算法研究和实时监控提供了方便，使多轴联动参数匹配化设计更加便利。硅片传输机器人本体多为3～5自由度的机械臂，而PMAC板能提供多达8轴的独立运动控制，所以，硅片传输机器人控制器完全可以采用PMAC板作为核心实现其功能。
ABB 3ADT309600R1012 SDCS-CON-2B
GE模块IC693CMM321 双以太网接口模块
施耐德 CPU模块 140CPU11303
AB 罗克韦尔模块 1757-SRM冗余模块
AB罗克韦尔冗余模块1757-SRM
爱默生底板KJ4001X1-BE1
西屋DCS卡件 1C31203G01 1C31203G01
西屋DCS卡件 5X00167G01
TRICONEX英维斯 康吉森电源模块8312
艾默生 EMERSON DeltaV 艾默生底板KJ3221X1-BA1
和利时模块HS2000 16D0 HS2M604A
epro传感器 PR6424/000-030+前置器CON021
EPRO 涡流传感器 PR6423/004-010-CN 前置器 CON021
epro 电涡流传感器PR6423/00R-010-CN +CON021
EPRO飞利浦 传感器 PR 6423/000-031 前置CON041
Bently Nevada 3500/53 本特利卡件
Bently Nevada 3500/50 本特利卡件
AB 罗克韦尔 cpu模块 1756-L62
BENTLY NEVADA 本特利 3500/42M
Bently Nevada 3500/92 本特利卡件
Bently Nevada 3500/15 本特利电源模块
3503E 数字输入模块DCS安全系统 TRICONEX 英维斯
西屋 EMERSON OVATION 5X0007G04
AB LOGIX5555 处理器模块 1756-L55M22
艾默生OVATION系统西屋 DCS卡件 5X00241G01
本特利Bently 3500系统3500/50卡件
AB 罗克韦尔 CPU模块 1756-L61
艾默生 EMERSON DeltaV KJ3222X1-BA1
AB 1756-IB32 B版本模块
AB 模块 1756-OB16E
艾默生 EMERSON 备件 1B30035H01 底板
本特利(BENTLY)模块3500/22M
SST-PFB3-VME-2 SST-PFB3-VME
本特利3500系统卡件3500/53 后卡133396-01
GE CPU模块 IC697CPX935
和利时FM143模块
和利时模块FM151
Ab cpu模块1747-L551
和利时模块FM148A
巴赫曼模块 CM202
巴赫曼模块MPC240
西屋OVATION 模块1C31234G01
巴赫曼模块AIO288
巴赫曼模块DIO216
巴赫曼模块NT255
巴赫曼模块FM211
和利时模块 FM143A
西屋OVATION 5X00058G01+5X0009G01
西屋 OVATION 5X00119G01+5X00121G01
AB CPU模块 1756-L61
OVATION系统 西屋DCS卡件1C31224G01/1C31227G01
triconex 英维斯卡件3503E
美国 GE 卡件IM0120C GROUP NR.1017077 NR.1017076
ABB模块07DI92
西门子6ES5 466-8MC11
本特利12580-01
本特利探头330103-00-02-10-02-00
ABB CI830
本特利3500/42M
ABB 3BSE018295R1 DSDI 110AV1
ABB FI830F
AITEK 转速器T77630-10
triconex 英维斯卡件3401
英维斯卡件triconex 3301
1756-CNBR AB模块
1756-L55M12 AB CPU模块
AB模块 1756-CNBR
epro前置器 CON021
IC200CHS022
GE模块 iC200ALG620
本特利卡 3500/22M
GE模块 IC693MDL753
GE IC693CPU374
西屋底座1B30035H01
GE模块 IC693PCM301
GE模块 IC693ALG221
黑马 HIMA SIS系统卡件 F3330
HIMA 黑马SIS系统卡件 数字输入模块F3236
HIMA 黑马卡件F6217
爱默生DCS 模块 KJ3203X1-BA1
爱默生DCS模块 KJ3204X1-BA1
GE模块IC200ALG260H
triconex 英维斯系统卡件模块 3700A
GE模块 IC200ALG630-EC
GE模块 IC200ALG320J
本特利3500/22M后卡146031-01
艾默生OVATION系统西屋 DCS卡件 5X00167G01
艾默生OVATION系统西屋 DCS卡件1C31234G01
艾默生OVATION系统西屋 DCS卡件ANALOG INPUT 5X00070G04
西屋DCS卡件 1C31122G01
triconex 康吉森 英维斯卡件模块 3805E
西屋DCS卡件PROCESSOR MODULE 控制模块 5X00241G01
triconex 英维斯 康吉森卡件3625
triconex 英维斯 tricon系统卡件 3805E
伍德沃德WOODWARD PROTECH 203 9907-147
triconex 4210
1C31234G01
KJ4001X1-CE1