（九成新）美国诺信等离子清洗机Nordson AP-1000 Plasma System

搭配HTP(高产能)电极的AP-1000等离子系统是综合了March特有的电极设计和AP-1000的高可靠性及其优良的工艺性。AP-1000 HTP充分利用了射频等离子产生的活性离子，不仅缩短工艺时间而且提高处理均匀性。
AP-1000HTP配备4路气体流量控制器，因工艺需求可选周不同的气体包括氩气、氢气和氦气等。
开槽式料盒可竖放于工艺腔内，通常每个料盒较少可放置20条引线框，根据料盒尺寸大小，一炉可较多放置12个料盒。


规格

外壳尺寸
W(宽)xD(长)xH(高)一占地面积　　　0.68米宽x 1.127米长x1.89米高
净重　　　　　　　　　　　　　　 485公斤（1069磅）
设备间隙　　　　　　　　　　　　 右边、左边一至少153毫米，前面一至少680毫米，后面一至少483毫米

处理腔体　　　　　　　　
较大容量　　　　　　　　　　　　 127升
多种电极配置　　　　　　　　　　 电源一接地，接地一电源，电源一电源
电极插槽数　　　　　　　　　　　 14
电极间距　　　　　　　　　　　　 25.4毫米(600W)50.8毫米(1000W）

电极
电源电极面积　　　　　　　　　　 349毫米宽x 425毫米长
多孔接地电极面积　　　　　　　　 384毫米宽x 425毫米长
悬浮电极面积　　　　　　　　　　 349毫米宽x 425毫米长

射频功率
标配电源　　　　　　　　　　　　 600w
选配电源　　　　　　　　　　　　 1000w
频率　　　　　　　　　　　　　　 13.56MHZ

气体控制
流量计　　　　　　　　　　　　　 10、25、50、100、250、500、1000、2000或5000标准毫升／分钟
MFC较多可配置数　　　　　　　　　4

控制和接口
软件控制　　　　　　　　　　　　　PLC控制，配有触摸屏界面
远程接口　　　　　　　　　　　　　PlasmaLIKIK、ProcessLINK、SECS/GEM接口

真空泵
标配油泵　　　　　　　　　　　　 1500升／分钟，配有氧油除雾器
选配油泵　　　　　　　　　　　　 1500升／分钟，配育防锈油除雾器
选配干泵　　　　　　　　　　　　 1784升／分钟
干泵净化氮气用量　　　　　　　　 14升/分钟
干泵冷却水用量　　　　　　　　　 5升/分钟

设施
电源　　　　　　　　　　　　　　 220伏，25安，50/60赫兹，3相，8 AWG，4线；380伏，25安，50/60赫兹，3相，8AWG，5线
工艺气体管径及接口　　　　　　　 外径6.35毫米（0.25英寸）Swagelok管　
工艺气体纯度　　　　　　　　　　 实验室或电子等级
工艺气体压力　　　　　　　　　　 较小0.069兆帕至较大0.103兆帕，可调节
净化气体管径及接口　　　　　　　 外径6.35毫米（0.25英寸）Swagelok管
净化气体纯度　　　　　　　　　　 实验室或电子等级N2/CDA
净化气体压力　　　　　　　　　　 较小0.2兆帕至较大0.69兆帕，可调节
气动阀接口及管径　　　　　　　　 外径6.35毫米（0.25英寸）Swagelok管
压缩空气纯度　　　　　　　　　　 CDA、无油、露点温度≤7℃，粒径<5微米
压缩空气压力　　　　　　　　　　 较小0.345兆帕至较大0.689兆帕，可调节
排放　　　　　　　　　　　　　　 外径38毫米（1.5英寸）管道法兰

合规性
半导体　　　　　　　　　　　　　 通过SEMI S2/S8【环境、健康和安全／人体工学）认证　　　　　　　　　　　　
*　　　　　　　　　　　　　　　　通过CE认证

辅助设备
气体发生器　　　　　　　　　　　 氮气、氢气（需要其他不可选硬件）
设施　　　　　　　　　　　　　　 冷却器、洗涤器

热线：400-699-3936
电话：13771952498